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AAO를 이용한 DRAM 프로브카드용 MLA 기판 및 AP 프로브카드용 가이드플레이트 개발
산업통상자원부, 산업기술혁신사업 (2020.04.01~2021.12.31)
고직접 반도체 증착식각공정 장비용 고내식성 세라믹 ALD 전구체 및 핵심 부품 개발
산업통상자원부, 산업기술혁신사업 (2020.04.01~2021.12.31)
나노센서연구소
(재)한국연구재단, 이공분야 대학중점연구소지원사업 (2018.06.01~2021.02.28)